• 半导体材料

  • 氧氯化磷 POCl3

    品牌: YAMANAKA

    高纯度半导体扩散制程材料、太阳能电池化学材料、光纤化学材料
    POCl3 氧氯化磷。BBr3 三溴化硼
    用途:扩散、掺杂、用在硅芯片的 N 型掺杂、半导体制程、太阳能电池、光纤预制棒、分离器件等的液态源。

  • 氧氯化磷自动供应系统

    品牌: YAMANAKA

    全自动氧氯化磷(POCl3)中央供应系统(PVRefill System)。主要特点为 :


    1、中央供应输送POCl3液体材料至扩散机台炉管玻璃瓶。持续维持瓶内中高液位使扩散制程气体流量更稳定。


    2、减少停机更换玻璃瓶的时间。可增加芯片产出量,且降低工安风险。


    3、零残料,节省残料成本。

  • 高纯度金属 - 硅晶棒掺杂

    品牌: YAMANAKA

    硅晶棒拉晶制程中P型、N型掺杂固态金属原料
    P型:超高纯度硼 (Boron)。
    N型:红磷 (Red Phosphor)、砷(As)、锑(Sb)。
    提供各种尺寸的不规则块状(chunk)、粉末(Powder)、颗粒(Shot)。

  • 涂布式玻璃 SOG

    品牌: DESERT SILICON

    提供涂布式玻璃 SOG(Spin-on-Glass)/SOD(Spin-on-Dopant)液体溶液。利用旋转、喷涂或浸涂法于基板上形成固体薄膜介质层(thin film dielectric layer)。
    客制配方,根据不同的制程需求提供多样不同的Spin-on Dopant(SOD)掺杂选择。
    应用在微芯片、太阳能、光电子、半导体封装、微机电(MEMS)等。
    如:Ga2O3 MOSFET、Diode、Trench Fill、Smoothing & Masking、Wafer Bonding、BCP/IBC(interdigitated back contact)Solar Cell及其他产品应用。

  • 高纯度金属 - 制程用

    品牌: YAMANAKA & MITSUWA

    高纯度蒸镀用金属(metal for filament & e-beam evaporator)/稀土金属(rare earth Metals)。
    依制程需求提供多样的元素、合金、化合物,包括钛(Ti)、铝(Al)、镍(Ni)、磷化锌(Zn3P2)、砷化锌(Zn3As2)以及稀土金属材料钪(Sc)、钇(Y)和镧(La)系元素等。
    各式金属、金属化合物及合金,小包装以满足客户之需求。
    根据不同的制程需求提供多样的金属、化合物选择。

  • SS316 不锈钢瓶

    品牌: PFL

    PFL生产的钢瓶(Cylinder、Bubbler)通过业界高安规之DOT认证。采用SS316不锈钢材质为主。可因应客户需求制作从50mL~60L各种容量的制品。与各大阀件商合作可提供客户需求的阀件。亦可选配含液位侦测与测温功能之产品。主要用于装填先驱化学品(Precursor)及特殊有机金属(Metal-Organic Source),应用于有机金属化学气相沈积(MOCVD)、化学气相沈积(CVD)、原子层沈积(ALD)等半导体薄膜制程。

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